中国设备工程

2017, No.376(17) 68-69

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半导体设备预测性维修技术分析

罗欣;

摘要(Abstract):

多年的调查分析研究表明,预测性维修技术是维修领域近年来研究的重点对象,对其关注度逐渐提升。本文从预测性维修技术出发,首先分析故障后维修和预防性维修以及预测性维修,对三者的不同点和相同点及各自的优缺点做了相应的论述。近年来的半导体设备主要都是流水线作业生产,因此在流水线生产的过程中,只要有其中任何一台设备出现问题或发生故障,流水线作业的中断都会使整个作业过程中断,给公司或企业带来经济损失。

关键词(KeyWords): 半导体设备;;故障后维修;;预防性维修;;预测性维修;;技术分析

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 罗欣;

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